超精密半導体装置専用サーボモータ SHAシリーズ

SHA シリーズ ハーモニックドライブと専用設計の平面 AC サーボモータ一体型 AC サーボアクチュエータ。平坦な形状と中空穴構造を特徴とし、機械装置全体の構造を簡素化できます。コンパクトな形状を特徴とし、出力を向上させたSHA-SGタイプ

製品説明

SHAシリーズ

要約

SHAシリーズ ハーモニックドライブと専用設計の平面ACサーボモータを一体化したACサーボアクチュエータ。平坦な形状と中空穴構造を特徴とし、機械装置全体の構造を簡素化できます。コンパクトな形状を得意とし、出力を向上させたSHA-SGタイプ

特産品

HarmonicDrive ® 特別設計のフラット AC サーボ モーターを備えた統合型 AC サーボアクチュエーター

中空で平坦な構造

絶対値エンコーダ

SHA-SG: 余分な長さを備えたコンパクトな形状

SHA-CG: ターンテーブル用途向けに、出力軸表面振動の精度を向上

  超精密半導体装置用特殊サーボモータ SHAシリーズ

1. モデル名: AC サーボアクチュエータ SHA シリーズ

2. モデル:

SG タイプ=20、25、32、40、45、58、65

HP タイプ=25,32

CG タイプ=20,25,32,40

3. バージョン記号

4. ハーモニックドライブ ® 減速比:

SG タイプ=51,81101121161

HP タイプ=11

CG タイプ=50,80100120160

5. 減速機の種類:

SG タイプ=SHG シリーズ

HP タイプ=HPF シリーズ

CG タイプ=CSG シリーズ

6. モーターのバージョン記号:

A=モデル 58、65

B=モデル 25、32、40

C=モデル 20

D=モデル 45

7. モーターサイズ:

● 08=モデル 20

09=モデル 25

12=モデル 32

15=モデル 40

16=モデル 45

21=モデル 58、65

8. ブレーキ:

● A=ブレーキなし

● B=ブレーキ付き

9. モーター電源電圧:

100=AC100V

200=AC200V

10. エンコーダー形式:

10=シンボル A フォーマット、伝送速度: 2.5Mbps、1:1 接続

11. エンコーダのタイプと解像度:

S17b=17bit アブソリュートエンコーダ 131072 パルス/回転

12. エンコーダ位相角:

モータのU相誘起電圧と絶対原点との位相差Aは0度です

13 コネクタ仕様:

● C=標準コネクタ付き

● N=コネクタなし

D=特殊コネクタ付き

14. オプションの記号:

L=ニアオリジン&エンドリミットセンサー

Y=ケーブル側出口

● V=ブラケット付(CGタイプのみ)

●S=出力軸1回転絶対値仕様(CGタイプのみ)

15. 特別仕様:

● 無記入=標準品

SP=規格外製品

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