超精密半導体装置専用サーボモータ FHAシリーズ

FHA-C シリーズは、超フラット AC サーボ アクチュエータです。他に類を見ない薄肉中空構造が特徴で、ロボットの関節駆動、半導体液晶パネル製造装置の位置合わせ機構、工作機械のATCドライブ、印刷関連機械のローラードライブなどに使用されています。

製品説明

FHAシリーズ

要約

FHA-C シリーズは、超薄型 AC サーボアクチュエータです。他に類を見ない薄肉中空構造が特徴で、ロボットの関節駆動、半導体液晶パネル製造装置のアライメント機構、工作機械のATCドライブ、印刷関連機械のローラードライブなどに使用されています。

特産品

HarmonicDrive ® 特別設計の超平面 AC サーボ モーターを備えた統合型 AC サーボアクチュエーター

中空で平坦な構造

インクリメンタル エンコーダ

 超精密半導体装置用特殊サーボモータ FHAシリーズ  

1. 品名:ACサーボアクチュエータ FHA-Cシリーズ

2. モデル: 17、25、32、40

3. バージョン記号: C

4. ハーモニックドライブ ® 減速比: 50、80、100、120、160

5. エンコーダのタイプと解像度: E250=インクリメンタル エンコーダ 2500p/r

6. バージョン記号(詳しくは弊社営業所までお問い合わせください)

7. 特別仕様:

● 無記入=標準品

SP=規格外製品

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